小型線切割機批發，2014年，三星公司14納米三柵極FinFET芯片工廠已經開始批量生產，相比20納米半導體工藝，14納米工藝可以將處理器芯片的性能提高20%，功耗能降低35%，占用面積減少15%。借助14納米工藝，微處理的性能在進一步提高的同時，功耗和成本有所降低。

微集成技術正在由平面集成向三維集成發展，由芯片級向集成度和復雜度更高的系統級發展。微集成技術的成熟將帶動具備傳感、處理、控制等多種功能的微系統快速發展，在大幅提升性能的同時，實現能耗和體積數十至數百倍的降低。

小型線切割機批發，在集成技術方面，開展了“三維集成電路”和“多方式異構集成”等三維集成技術研究，多個低功率、小信號、同質微電子器件的三維集成已成為標準工藝；微/光電子、微機電系統等多種器件間的集成獲較大進展。

小型線切割機批發，DARPA在2011年啟動“電子-光子混雜集成”（E-PHI）計劃，目標是將高速電子直接與芯片級的光子微系統集成到一個微型硅芯片上，2014年該項目成功地在硅片上集成數十億個發光點，發出有效的硅基激光。